ОПТИМИЗАЦИЯ СИСТЕМЫ ОХЛАЖДЕНИЯ МОЛИБДЕНОВОЙ ПОДЛОЖКИ УСТАНОВКИ ГАЗОПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ
DOI:
https://doi.org/10.30837/1563-0064.3.2018.162773Ключевые слова:
алмазное покрытие, газоплазменное напыление, система охлаждения, целевая функция, управляемые параметрыАннотация
Рассматриваются условия реализации стационарного теплового режима подложки путем задания параметров системы охлаждения в установке газоплазменного напыления алмазного покрытия. Такие условия формулируются в виде оптимизационной задачи математического программирования с поиском экстремума целевой функции путем варьирования управляемыми параметрами в пределах допустимой области.
Библиографические ссылки
Kurihara К., Sasaki К., Kawarada М., Koshino N. High rate syntesis of diamond by DC plasma jet chemical vapor deposition // Appl. Phys. Lett. 52 (1988) 437-438.
Karner, Pedrazzini М., Hollenstein С. High current d.c. arc (HCDCA) technique for diamond deposition. Diamond Relat. Mater 5 (1996) 217-220.
Lu F.X., Zhong G.F., Sun J.G., Fu Y.L., Tang W.Z. Wang J.J., Li G.H., Zhang J.M., Pan C.H., Tang C.X., Lo T.L., Zhang Y.G. A New Type of DC Arc Plasma tourch for Low Cost Large Area Diamond Deposition. Diamond Relat. Mater. 7(1998)737-741.
Aksenov I.I., Vasil'ev V.Y., Strel'nitskij V.E., Shulaev V.M. and Zalesskij D. Yu. Arc Discharge Plasma Touch for Diamond Coating Deposition. Diamond Relat. Mater, 3(1994). P. 525 527.
Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2019 Радиоэлектроника и информатика
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция — Некоммерческое использование — На тех же условиях») 4.0 Всемирная.
The author(s) of a manuscript agree that if the manuscript is accepted for publication in “Radioelectronics&Informatics Journal”, the published article will be copyrighted using a Creative Commons “Attribution-Non Commercial-Share Alike” license. This license allows the author(s) to retain the copyright, but also allows others to freely copy, distribute, and display the copyrighted work, and derivative works based upon it, under certain specified conditions.