DOI: https://doi.org/10.30837/1563-0064.3.2018.162773

ОПТИМИЗАЦИЯ СИСТЕМЫ ОХЛАЖДЕНИЯ МОЛИБДЕНОВОЙ ПОДЛОЖКИ УСТАНОВКИ ГАЗОПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Сергей Алексеевич Мартынов, Валентина Петровна Лукьянова, Александр Андреевич Лучанинов, Манап Ахмадович Хажмурадов

Аннотация


Рассматриваются условия реализации стационарного теплового режима подложки путем задания параметров системы охлаждения в установке газоплазменного напыления алмазного покрытия. Такие условия формулируются в виде оптимизационной задачи математического программирования с поиском экстремума целевой функции путем варьирования управляемыми параметрами в пределах допустимой области.


Ключевые слова


алмазное покрытие; газоплазменное напыление; система охлаждения; целевая функция; управляемые параметры

Полный текст:

Віддалена PDF(РУССКИЙ)

Литература


Kurihara К., Sasaki К., Kawarada М., Koshino N. High rate syntesis of diamond by DC plasma jet chemical vapor deposition // Appl. Phys. Lett. 52 (1988) 437-438.

Karner, Pedrazzini М., Hollenstein С. High current d.c. arc (HCDCA) technique for diamond deposition. Diamond Relat. Mater 5 (1996) 217-220.

Lu F.X., Zhong G.F., Sun J.G., Fu Y.L., Tang W.Z. Wang J.J., Li G.H., Zhang J.M., Pan C.H., Tang C.X., Lo T.L., Zhang Y.G. A New Type of DC Arc Plasma tourch for Low Cost Large Area Diamond Deposition. Diamond Relat. Mater. 7(1998)737-741.

Aksenov I.I., Vasil'ev V.Y., Strel'nitskij V.E., Shulaev V.M. and Zalesskij D. Yu. Arc Discharge Plasma Touch for Diamond Coating Deposition. Diamond Relat. Mater, 3(1994). P. 525 527.


Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


Copyright (c) 2019 Радиоэлектроника и информатика

Creative Commons License
Эта работа лицензирована Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.